普通的压阻式压力传感器其敏感控测惠斯顿电桥的四个力敏点阻是用集成电路工艺制造的,电阻间用PN结相互隔离。由于受到PN结耐温限制,最高使用温度仅125°C,而实际上由于PN结反向漏电流随温度的指数上升关系,在温度超过100°C后,传感器性能已大大劣化,这限制了普通压阻传感器的可用温度范围。利用厚薄膜技术制作力敏电阻,可将使用温度扩展至125°C;利用多晶硅SOI技术制作力敏电阻,可将使用温度扩展至150°C;利用传统SOS技术和先
进的SOI技术可将使用温度扩展至180°C—350°C;利用最新的β相高温力敏材料碳化硅与SOI技术的结合,可将使用温度扩展至450°C—850°C,本系列产品是利用德国HELM公司的国际先进传感器,配合高精度电子元件,经严格的工艺过程装配而成。
产品特点
◇ 全不锈钢外壳,卓越的抗腐蚀性能
◇ 压力测量范围宽
◇ 温度测量范围宽,温度误差极小
◇ 工作稳定 抗干扰能力强
◇ 可靠性高,双膜片结构
◇ 外形尺寸小,重量轻,类型齐全
◇ 反相极性过压过流保护
◇ 测量介质范围广